ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡選型建議

在選擇ZEM臺(tái)式掃描電鏡的時(shí)候，如何根據(jù)自己的需要選擇合適的型號(hào)呢？本文將介紹ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡不同型號(hào)各自的優(yōu)勢(shì)，用戶可根據(jù)自己的測(cè)試需要選擇合適的型號(hào)。

ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡有ZEM  Ultra場(chǎng)發(fā)射臺(tái)式掃描，ZEM 20臺(tái)式掃描電鏡，ZEM Pro單晶燈絲電鏡，ZEM 18臺(tái)式掃描電鏡，ZEM 15C臺(tái)式掃描電鏡。

這幾種型號(hào)主要有以下的區(qū)別：

從核心技術(shù)來說：ZEM Ultra采用的是肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍技術(shù)；ZEM Pro使用的是單晶絲技術(shù)；ZEM 20采用的是經(jīng)典鎢燈絲技術(shù)；ZEM 18采用的是預(yù)對(duì)鎢燈絲技術(shù)，10M信號(hào)帶寬，多級(jí)防震技術(shù)；ZEM 15C采用的是預(yù)對(duì)鎢燈絲技術(shù)，多級(jí)防震技術(shù)。

從分辨率上來說：ZEM Ultra可放大50萬(wàn)倍；ZEM Pro可放大36萬(wàn)倍；ZEM 20可放大36萬(wàn)倍；ZEM 18可放大20萬(wàn)倍；ZEM 15C可放大15萬(wàn)倍。

從產(chǎn)品特色上來說，ZEM Ultra可用于高精度半導(dǎo)體研究，分辨率小于2.5nm，可支持原位實(shí)驗(yàn)；ZEM Pro可用于工業(yè)檢測(cè)，分辨率可達(dá)3nm，超大樣品倉(cāng)，提高檢測(cè)效率；ZEM 20換樣時(shí)間僅需30秒，可選配五軸樣品臺(tái)；ZEM 18可90秒抽真空，成像快速流暢；ZEM 15C即插即用，操作簡(jiǎn)單。